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探针台 [复制链接]

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发表于 2020-3-16 20:54:16 |只看该作者 |倒序浏览
    探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(ch手动探针台广泛应用于,科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效用途:以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等探针台执行机构由探针座和探针杆两部分组成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋目前业内口碑较好的是美国的cascade和台湾的仪准科技,cascade探针台应放在坚固稳定的台面上,如地基有震动的情况,需要配置主动防震装置,



1.什么是探针台
探针台是一种辅助執行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在顯微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下來测试人员通过旋轉探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的電性能参数。

2探针臺应用
手動探针台广泛应用于,科研單位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测試阶段 ,批量不是很大的情况,大批量的重复测試推荐使用探卡。
主要功能:搭配外接測試测半导体参數測试仪、示波器、网分等测试源表,量測半導体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。
用途:以往如果需要测试电子元器件或系統的基本电性能(如电流、电壓、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随著电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件(如IC、wafer、Chip、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应運而生,利用高精度微探针将被测原件的內部讯號引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。
探针台执行机构由探针座和探针杆两部分組成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋钮,控制固定在针座上的探针杆做三向移动,移动范围12mm,移動精度可以达到0.7微米。這樣可以把探针很好的点到待测点上(說明探針是耗材,一般客户自己准备),探针探测到的信號可以通过探针杆上的电缆傳输到与其连接的测试机上,从而得到电性能的参數。对于重复测試同种器件,多个点位的推荐使用探针台安裝探卡进行测试。

3、探針台发展现状
    目前业内口碑较好的是美国的cascade和台湾的儀准科技,cascade起始于1984年是国际最早设计生产探针台的廠商,特点价格贵精度高。仪准科技起始于2000年是國內做探针臺最早的企业之一,质量稳定性价比較高。
4、工作环境
    探针臺应放在坚固稳定的台面上,如地基有震动的情況,需要配置主动防震装置,避免在高温、潮湿、激烈震動、阳光直接照射和灰尘较多的環境下使用。使用最佳溫度范圍为5℃~40℃,最佳湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持50%~60%之范圍。使用时门窗尽可能关閉,使室内达到除湿效果。
使用电源:220V,50Hz

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